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标题
Early-stage silver growth during sputter deposition on SiO2 and polystyrene – Comparison of biased DC magnetron sputtering, high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and bipolar HiPIMS
SiO2和聚苯乙烯溅射沉积过程中的早期银生长——偏置直流磁控溅射、高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和双极HiPIMS的比较
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 溅射 腔磁控管 光电子学 脉冲（物理） 薄膜 纳米技术 物理 量子力学
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160392
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.160392 doi
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1715abc 在 2025-04-23 13:27:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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