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![]() 耦合MEMS谐振器中质量扰动与直流电压偏置等效性的理论与实验研究
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Toky Harrison Rabenimanana; Fehmi Najar; Mehdi Ghommem; Vincent Walter; Najib Kacem 出版日期:2022-07-14 |
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