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 Ultra-high frequency, high Q/volume micromechanical resonators in a planar AlN phononic crystal 平面AlN声子晶体中的超高频、高Q/体积微机械谐振器
相关领域
谐振器
材料科学
光子晶体
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光电子学
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宽禁带半导体
氮化物
振动
频带
Crystal（编程语言）
声学
物理
电信
纳米技术
带宽（计算）
工程类
计算机图形学（图像）
程序设计语言
粒子物理学
图层（电子）
计算机科学
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