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 Measurements of atomic hydrogen recombination coefficients and the reduction of Al2O3 using a heat flux sensor 用热通量传感器测量原子氢复合系数和Al2O3还原
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Aneta Stodólna; Shyama Ramankutty; M. A. Blauw; T. de Jonge; Arnold J. Storm; et al 出版日期：2024-07-16 |
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