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标题
The impact of inconsistency in assist feature generation on OPC performance
辅助特征生成中的不一致性对OPC性能的影响
相关领域
计算机科学 过程（计算） 算法 化学 操作系统
网址
https://doi.org/10.1117/12.2281968
DOI
10.1117/12.2281968 doi
其它 期刊：
作者：Amr Y. Abdo; Ramya Viswanathan; Donald J. Samuels; David Conklin
出版日期：2017-10-23
求助人
勤劳怜寒 在 2024-09-30 13:43:15 发布自四川，悬赏 20 积分
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