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Oxygen relocation during HfO2 ALD on InAs
InAs上HfO2 ALD过程中的氧迁移
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期刊:Faraday Discussions 作者:Giulio D’Acunto; Esko Kokkonen; Payam Shayesteh; Virgínia Boix; Foqia Rehman; et al 出版日期:2022-01-01 |
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