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标题
Oxygen relocation during HfO2 ALD on InAs
InAs上HfO2 ALD过程中的氧迁移
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网址
DOI
10.1039/d1fd00116g doi
其它 期刊:Faraday Discussions
作者:Giulio D’Acunto; Esko Kokkonen; Payam Shayesteh; Virgínia Boix; Foqia Rehman; et al
出版日期:2022-01-01
求助人
指沙 在 2025-01-06 10:06:05 发布自浙江,悬赏 10 积分
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