Thickness measurements and uncertainty evaluation of a multilayer thin-film sample using auxiliary single-layer samples

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标题	Thickness measurements and uncertainty evaluation of a multilayer thin-film sample using auxiliary single-layer samples 用辅助单层样品测量多层薄膜样品的厚度及不确定度评定相关领域材料科学重复性图层（电子）样品（材料）薄膜偏移量（计算机科学）计量学光电子学沉积（地质）逐层光学复合材料计算机科学纳米技术化学物理色谱法程序设计语言古生物学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1088/1681-7575/acbd9e
DOI	10.1088/1681-7575/acbd9e doi
其它	期刊：Metrologia 作者：Jungjae Park; Jaeseok Bae; Yoon-Soo Jang; Jonghan Jin 出版日期：2023-03-07
求助人	君与同行在 2024-09-28 23:56:41 发布自山东，悬赏 10 积分
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