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 Influence of Thermal Conductivity and Emissivity of Heat Shield Surface Material on the Thermal Field of Czochralski Silicon Crystal Growth 隔热罩表面材料导热系数和发射率对直拉硅晶体生长热场的影响
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期刊：Silicon 作者：Xuekang Lv; Rongrong Hu; Jiacheng Li; Salamat Ali; Gengjin Li; et al 出版日期：2024-06-08 |
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