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High performance ferroelectric ZnO thin film transistor using AlOx/HfZrO/ZrOx gate insulator by spray pyrolysis
喷雾热解AlOx/HfZrO/ZrOx栅绝缘体高性能铁电ZnO薄膜晶体管
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Md Mehedi Hasan; Mohit Mohit; Jinbaek Bae; Eisuke Tokumitsu; Hye-Yong Chu; et al 出版日期:2021-08-30 |
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