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Performance Enhancement of Transparent Amorphous IGZO Thin-Film Transistor Realized by Sputtered Amorphous AlOx Passivation Layer
溅射非晶AlOx钝化层实现透明非晶IGZO薄膜晶体管性能增强
相关领域
钝化
材料科学
薄膜晶体管
无定形固体
图层(电子)
氧化物薄膜晶体管
光电子学
氧化物
纳米技术
冶金
结晶学
化学
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Yuan Bo Li; Jianxun Sun; Teddy Salim; Rongyue Liu; T. P. Chen 出版日期:2021-04-01 |
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