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 Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces 光滑和粗糙Si和SiO2表面掠入射下的惰性气体离子散射
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Charisse Marie D. Cagomoc; Michiro Isobe; Eric A. Hudson; Satoshi Hamaguchi 出版日期：2023-03-01 |
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