Suppression of Dissolution Rate via Coordination Complex in Tungsten Chemical Mechanical Planarization

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标题	Suppression of Dissolution Rate via Coordination Complex in Tungsten Chemical Mechanical Planarization 钨化学机械平面化中配位络合物对溶解速率的抑制相关领域化学机械平面化钨溶解吡啶甲酸材料科学金属冶金化学抛光物理化学有机化学
网址	https://www.mdpi.com/2076-3417/12/3/1227/pdf?version=1643096... AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI	10.3390/app12031227 doi
其它	期刊：Applied Sciences 作者：Kangchun Lee; Jihoon Seo 出版日期：2022-01-24
求助人	悉尼的夜景在 2024-10-09 16:18:50 发布自天津，悬赏 10 积分
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