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Processing and characterization of co silicide ohmic contacts to 4H–SiC
4H-SiC硅化co欧姆触点的加工与表征
相关领域
欧姆接触
材料科学
碳化硅
电阻率和电导率
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接触电阻
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碳化物
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期刊:Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者:Taehong Kim; Jung-Hun Kim; Kwangsoo Kim 出版日期:2020-08-14 |
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