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标题
Process and film characterization of low pressure tetraethylorthosilicate–borophosphosilicate glass
低压正硅酸四乙酯-硼磷硅酸盐玻璃的工艺及薄膜表征
相关领域
掺杂剂 硼硅酸盐玻璃 分析化学（期刊） 化学气相沉积 材料科学 薄脆饼 薄膜 热解炭 化学 兴奋剂 复合材料 光电子学 纳米技术 热解 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/1.583564
DOI
10.1116/1.583564 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics Processing and Phenomena
作者：Frank Becker; D. A. Pawlik; H. Schäfer; G. Staudigl
出版日期：1986-05-01
求助人
zkwww 在 2025-02-23 12:46:09 发布自浙江，悬赏 10 积分
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