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 Direct fabrication of a diffraction grating onto organic oligomer crystals by focused ion beam lithography followed by plasma etching 通过聚焦离子束光刻和等离子体蚀刻在有机低聚物晶体上直接制造衍射光栅
相关领域
材料科学
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yuhi Inada; Shusuke Yamashita; Shuya Murakami; Kazuo Takahashi; Takeshi Yamao; et al 出版日期：2021-10-26 |
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