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Kinetics of Thermal Chemical Vapor Deposition and Microstructures of Carbon Films Using Propane/Ammonia Mixtures
丙烷/氨混合物热化学气相沉积动力学及碳膜微观结构
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Liang-Hsun Lai; Dan-Yun Wu; Hsiang-Chun Hsueh; Sham‐Tsong Shiue 出版日期:2014-01-01 |
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