Bonding Structure and Dry Etching Characteristics in Amorphous B-C-N Films for Hardmask Applications

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标题	Bonding Structure and Dry Etching Characteristics in Amorphous B-C-N Films for Hardmask Applications 硬掩模用非晶B-C-N薄膜的键合结构和干法刻蚀特性相关领域无定形固体干法蚀刻材料科学蚀刻（微加工）结晶学纳米技术化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.carbon.2024.119218
DOI	10.1016/j.carbon.2024.119218 doi
其它	期刊：Carbon 作者：Hongik Kim; Ung-gi Kim; Deokgi Hong; Sung‐Tae Kim; Seungwu Han; et al 出版日期：2024-05-06
求助人	超级日记本在 2024-10-31 15:19:45 发布自江苏，悬赏 10 积分
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