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Leakage mechanism in ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 epitaxial thin films
铁电Hf0.5Zr 0.5 O2外延薄膜的泄漏机理
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期刊:Applied Materials Today 作者:Xian‐Long Cheng; Chao Zhou; Baichen Lin; Zhenni Yang; Shanquan Chen; et al 出版日期:2023-06-01 |
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