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 The effects of ZnO layer and annealing temperature on the structure, optical and film–substrate cohesion properties of SiGe thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering ZnO层和退火温度对射频磁控溅射制备SiGe薄膜结构、光学和膜-衬底凝聚性能的影响
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
结晶度
薄膜
溅射沉积
光电子学
溅射
复合材料
纳米技术
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| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Jinsong Liu; Ziquan Li; Kongjun Zhu; Mingxia He; Mengqi Cong; et al 出版日期：2012-07-20 |
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