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 Improvement of zirconium-doped hafnium oxide high-k dielectric properties by adding molybdenum 添加钼对锆掺杂氧化铪高k介电性能的改善
相关领域
铪
钼
材料科学
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期刊：Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics 作者：Chi-Chou Lin; Yue Kuo 出版日期：2013-04-23 |
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