Quantitative Evaluation of the Batwing Effect on Depth Measurement in Coherence Scanning Interferometry for Rectangular Gratings

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标题	Quantitative Evaluation of the Batwing Effect on Depth Measurement in Coherence Scanning Interferometry for Rectangular Gratings 矩形光栅相干扫描干涉法深度测量中蝙蝠翼效应的定量评估相关领域干涉测量光学连贯性（哲学赌博策略）材料科学白光干涉法物理量子力学
网址	https://www.mdpi.com/2304-6732/11/4/341/pdf?version=17125802...
DOI	10.3390/photonics11040341 doi
其它	期刊：Photonics 作者：Jiale Zhang; Qun Yuan; Fan Xiao; Cewu Lu; Lihua Lei; et al 出版日期：2024-04-08
求助人	友好的翅膀在 2024-06-03 09:37:02 发布自陕西，悬赏 10 积分
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