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 Record 7(N)+7(P) Multiple VTs Demonstration on GAA Si Nanosheet n/pFETs using WFM-Less Direct Interfacial La/Al-Dipole Technique 使用无WFM直接界面La/Al-偶极子技术在GaA-Si纳米片N/pFETs上记录7(N)+7(P)多重VTs演示
相关领域
电介质
纳米片
偶极子
物理
材料科学
算法
分析化学（期刊）
立体化学
纳米技术
光电子学
化学
计算机科学
有机化学
量子力学
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期刊：2022 International Electron Devices Meeting (IEDM) 作者：Jiaxin Yao; Yanzhao Wei; Shuai Yang; Hong Yang; Gaobo Xu; et al 出版日期：2023-01-24 |
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