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 Preparation of high-quality stress-free (001) aluminum nitride thin film using a dual Kaufman ion-beam source setup 双Kaufman离子束源制备高质量无应力（001）氮化铝薄膜
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期刊：Thin Solid Films 作者：Imrich Gablech; Vojtěch Svatoš; Ondřej Caha; A. Dubroka; J Pekárek; et al 出版日期：2019-01-01 |
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