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 MODELING AND SIMULATION OF MAGNETRON-SPUTTERRED NiTi THIN FILM DEPOSITION BY SRIM/TRIM 磁控溅射NiTi薄膜沉积的SRIM/TRIM建模与仿真
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期刊：Surface Review and Letters 作者：Ajit Behera; Kuldeep Saxena; Chander Prakash; Alokesh Pramanik; Julfikar Haider; et al 出版日期：2023-01-12 |
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