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 Study on picosecond laser stealth dicing of 4H-SiC along [ ] and [ ] crystal orientations on Si-face and C-face 4H-SiC在Si面和C面沿[]和[]晶向的皮秒激光隐形切割研究
相关领域
晶片切割
材料科学
激光器
激光烧蚀
Crystal（编程语言）
方向（向量空间）
弯曲
光学
薄脆饼
光电子学
几何学
复合材料
计算机科学
物理
数学
程序设计语言
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