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 Nonlinear piezoelectric quartz MEMS resonator with electrically tunable stability for enhanced performance of resonant accelerometer 用于增强谐振加速度计性能的具有电可调稳定性的非线性压电石英MEMS谐振器
相关领域
微电子机械系统
谐振器
压电
加速度计
材料科学
光电子学
石英
声学
非线性系统
计算机科学
物理
复合材料
量子力学
操作系统
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| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：Kai Bu; Cun Li; Yulong Zhao; Bo Li; Hong Xue; et al 出版日期：2024-12-16 |
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