Growth of SiOx films by dielectric barrier discharge (DBD) plasma enhanced chemical vapor deposition at atmospheric pressure

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标题	Growth of SiOx films by dielectric barrier discharge (DBD) plasma enhanced chemical vapor deposition at atmospheric pressure 大气压下介电阻挡放电（DBD）等离子体增强化学蒸气沉积生长二氧化硅薄膜
网址	https://www.researchgate.net/publication/281220176_Growth_of...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	cuicuicui 在 2025-03-20 20:39:53 发布自上海，悬赏 10 积分
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