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Development of atmospheric pressure plasma processing machine tool for large aperture optics
大口径光学常压等离子体加工机床的研制
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抛光 光学 光圈(计算机存储器) 计算机科学 瓶颈 材料科学 机床 自适应光学 X射线光学 机械工程 工程类 物理 嵌入式系统 X射线
网址
DOI
10.1117/12.2242281 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:Xing Su; Yangong Wu; Peng Zhang; Qiang Xin; Li Wang
出版日期:2016-10-28
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