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Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance
氧化铝悬浮液分散稳定性及化学机械抛光性能的改善
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.153703
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.153703 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Wantang Wang; Baoguo Zhang; Yunhui Shi; D. K. Zhou; Ru Wang
出版日期：2022-05-18
求助人
小炸日记 在 2024-10-21 20:01:53 发布自河南，悬赏 10 积分
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