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 Effect of Potassium Persulfate as an Additive On Chemical Mechanical Polishing Performance on C-, A- and R-Plane Sapphire 过硫酸钾作为添加剂对C、A和R平面蓝宝石化学机械抛光性能的影响
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Yanan Lu; Xinhuan Niu; Chenghui Yang; Zhaoqing Huo; Yaqi Cui; et al 出版日期：2020-01-08 |
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