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 High-Temperature Acoustic and Electric Characterization of Ferroelectric Al₀.₇Sc₀.₃N Films 铁电Al₀.₇Sc₀.₃N薄膜的高温声电表征
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Jialin Wang; Mingyo Park; Azadeh Ansari 出版日期：2022-02-08 |
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