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 A Technique for Converting Perhydropolysilazane to SiO[sub x] at Low Temperature 全氢聚硅氮烷低温转化为SiO[sub x]的技术
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期刊：Electrochemical and Solid-State Letters 作者：Jae-Seo Lee; Jung‐Hun Oh; Sung‐Woon Moon; Woo‐Suk Sul; Sam-Dong Kim 出版日期：2009-11-11 |
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