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 High Pulse Repetition Frequency Micro Hole Drilling of Silicon Using Ultrashort Pulse Laser Radiation 超短脉冲激光辐射高脉冲重复频率硅微孔钻孔
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期刊：Journal of Laser Micro/Nanoengineering 作者：Andreas Gruner; Lucas Naumann; Joerg Schille; Udo Loeschner 出版日期：2019-12-01 |
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