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Area dependence of TDDB characteristics for HfO2 gate dielectrics
OfO2门极位准分子TDDB特性的面积依赖性
相关领域
随时间变化的栅氧化层击穿 威布尔分布 介电强度 材料科学 电介质 电击穿 缩放比例 光电子学 栅极电介质 电子工程 电气工程 凝聚态物理 物理 工程类 晶体管 数学 电压 统计 几何学
网址
DOI
10.1109/led.2002.803751 doi
其它 期刊:IEEE Electron Device Letters
作者:Young Hee Kim; K. Onishi; Chang Seok Kang; Hag‐Ju Cho; R. Nieh; et al
出版日期:2002-10-01
求助人
沈家宁 在 2024-11-20 17:24:26 发布自福建,悬赏 10 积分
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