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Area dependence of TDDB characteristics for HfO2 gate dielectrics
OfO2门极位准分子TDDB特性的面积依赖性
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Young Hee Kim; K. Onishi; Chang Seok Kang; Hag‐Ju Cho; R. Nieh; et al 出版日期:2002-10-01 |
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