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Fabrication and properties of low-temperature (⩽600 °C) processed n-type nanocrystalline SiC/p-type crystalline Si heterojunction diodes
低温(600°C)处理的n型纳米晶SiC/p型晶体Si异质结二极管的制备和性能
相关领域
材料科学
纳米晶材料
异质结
二极管
光电子学
碳化硅
制作
结晶
溅射沉积
化学气相沉积
纳米晶
硅
宽禁带半导体
溅射
薄膜
纳米技术
化学工程
复合材料
医学
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病理
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