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![]() 一种新型混合结构XYZ纳米定位台的设计与测试
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期刊:Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part B Journal of Engineering Manufacture 作者:Qiang Liu; Zhengkun Qu; Xiaoqin Zhou; Zhi‐Wei Liu; Kai Lv 出版日期:2016-04-05 |
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