Relationship of etch reaction and reactive species flux in C4F8/Ar/O2 plasma for SiO2 selective etching over Si and Si3N4 - 科研通

发布文献求助

亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

已完结

文献求助详情

标题	Relationship of etch reaction and reactive species flux in C4F8/Ar/O2 plasma for SiO2 selective etching over Si and Si3N4 C4F8/Ar/O2等离子体中SiO2选择性蚀刻Si和Si3N4的蚀刻反应与活性物质通量的关系
网址	http://avs.scitation.org/doi/pdf/10.1116/1.1376709
DOI	10.1116/1.1376709 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Miyako Matsui; Tetsuya Tatsumi; Makoto Sekine 出版日期：2002-07-27
求助人	爱咋咋滴在 2025-02-17 01:33:28 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: dgcyjvfb发布了新的文献求助10

3秒前; 我爱高数发布了新的文献求助10

4秒前; 小马甲的应助被lulubeans采纳，获得10

8秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

11秒前; ceeray23上传了应助文件

12秒前; 我爱高数完成签到，获得积分10

17秒前; 小刘恨香菜完成签到，获得积分10

20秒前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 小马甲上传了应助文件

23秒前; lulubeans发布了新的文献求助10

28秒前; lulubeans完成签到，获得积分20

43秒前; ceeray23上传了应助文件

46秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

53秒前; 领导范儿的应助被lulubeans采纳，获得30

1分钟前; 自然涵易完成签到，获得积分10

1分钟前; ceeray23上传了应助文件

1分钟前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; 自然涵易发布了新的文献求助10

1分钟前; ceeray23上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 所所上传了应助文件

2分钟前; 研友_LJajX8发布了新的文献求助10

2分钟前; ceeray23上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

3分钟前; 模糊中正的应助被luckss采纳，获得10

3分钟前; ceeray23上传了应助文件

3分钟前; 模糊中正上传了应助文件

3分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

4分钟前; 上官若男上传了应助文件

4分钟前; luckss发布了新的文献求助10

4分钟前; Powder发布了新的文献求助10

4分钟前; 模糊中正上传了应助文件

4分钟前; 西安浴日光能赵炜完成签到，获得积分10

4分钟前; bkagyin上传了应助文件

4分钟前; 那奇泡芙发布了新的文献求助10

4分钟前; 小二郎的应助被那奇泡芙采纳，获得10

4分钟前; 西安浴日光能赵炜发布了新的文献求助10

4分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

4分钟前; 852上传了应助文件

4分钟前

高分求助中: Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2500; Востребованный временем 2500; Aspects of Babylonian celestial divination : the lunar eclipse tablets of enuma anu enlil 1500; Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation 1000; Classics in Total Synthesis IV: New Targets, Strategies, Methods 1000; Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 700; Examining the relationship between working capital management and firm performance: a state-of-the-art literature review and visualisation analysis 500

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3445140; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3041131; 关于积分的说明 8983996; 捐赠科研通 2729756; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1497158; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 692167; 邀请新用户注册赠送积分活动 689697

今日热心研友

我是站长才怪

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通