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 Experimental study of abatement of SF6 gas using an atmospheric-pressure oxygen microwave plasma torch 常压氧微波等离子体炬消除SF6气体的实验研究
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Yue Wu; Shou-Zhe Li; Jinglin Liu; Shouxin Zhang 出版日期：2020-06-08 |
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