Physics and technology of magnetron sputtering discharges

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标题	Physics and technology of magnetron sputtering discharges 磁控溅射放电物理与技术相关领域溅射溅射沉积阴极高功率脉冲磁控溅射腔磁控管电离光电子学等离子体材料科学物理气相沉积原子物理学分析化学（期刊）化学薄膜离子纳米技术物理量子力学色谱法物理化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/abb7bd
DOI	10.1088/1361-6595/abb7bd doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Jón Tómas Guðmundsson 出版日期：2020-11-01
求助人	vsoar 在 2024-12-16 21:51:39 发布自四川，悬赏 10 积分
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