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Threading dislocation increase in the initial stage of growth of nitrogen and boron co-doped 4H-SiC by physical vapor transport
氮硼共掺杂4H-SiC物理气相输运生长初期的螺纹位错增加
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Hiromasa Suo; Kazuma Eto; Hiroshi Osawa; Tomohisa Kato; Hajime Okumura 出版日期:2022-11-01 |
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