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标题
Re-examination of the Aqueous Stability of Atomic Layer Deposited (ALD) Amorphous Alumina (Al2O3) Thin Films and the Use of a Postdeposition Air Plasma Anneal to Enhance Stability
原子层沉积(ALD)非晶氧化铝(Al2O3)薄膜水稳定性的再检验和沉积后空气等离子体退火提高稳定性的应用
相关领域
原子层沉积 无定形固体 水溶液 退火(玻璃) 薄膜 X射线光电子能谱 化学工程 材料科学 氧化物 热稳定性 氢氧化物 无机化学 化学 纳米技术 冶金 有机化学 结晶学 工程类
网址
DOI
10.1021/acs.langmuir.1c02574 doi
其它 期刊:Langmuir
作者:Simon A. Willis; Emily K. McGuinness; Yang Li; Mark D. Losego
出版日期:2021-12-01
求助人
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