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 Understanding the influence of three-dimensional sidewall roughness on observed line-edge roughness in scanning electron microscopy images 了解三维侧壁粗糙度对扫描电镜图像中观察到的线边缘粗糙度的影响
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期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Luc van Kessel; T.J. Huisman; C. W. Hagen 出版日期：2020-09-12 |
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