Modelling and Control of Backside-Induced ESD Defects During Wet-Chemical Processes in GaAs Front End Manufacturing

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标题	Modelling and Control of Backside-Induced ESD Defects During Wet-Chemical Processes in GaAs Front End Manufacturing GaAs前端制造中湿化学过程中背面诱发ESD缺陷的建模与控制相关领域薄脆饼电容器静电放电材料科学光电子学前端和后端电气工程电子工程工程类机械工程电压
网址	http://dx.doi.org/10.1109/TSM.2019.2933013
DOI	10.1109/TSM.2019.2933013 doi
求助人	半导体行业底层搬砖小白在 2024-02-07 13:34:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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