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 Synergetic effect of gas compositions on material properties of n‐type nanocrystalline silicon oxide prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition 气体组分对等离子体增强化学气相沉积制备n型纳米氧化硅材料性能的协同效应
相关领域
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期刊：Solar RRL 作者：Daohong Qiu; Weiyuan Duan; Andreas Lambertz; Karsten Bittkau; Uwe Rau; et al 出版日期：2024-03-13 |
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