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 Simulation and optimization of polysilicon thin film deposition in a 3000 mm tubular LPCVD reactor 3000mm管式LPCVD反应器中多晶硅薄膜沉积的模拟与优化
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期刊：Solar Energy 作者：Jicheng Zhou; Bowen Lv; Huiling Liang; Zhe-Xi Wen 出版日期：2023-03-01 |
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