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 High doping efficiency Al-doped ZnO films prepared by co-injection spatial atomic layer deposition 共注入空间原子层沉积制备高掺杂效率Al掺杂ZnO薄膜
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Chia‐Hsun Hsu; Xin-Peng Geng; Pao-Hsun Huang; Wan-Yu Wu; Ming-Jie Zhao; et al 出版日期：2021-12-01 |
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