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标题
Efficient measurement and optical proximity correction modeling to catch lithography pattern shift issues of arbitrarily distributed hole layer
捕捉任意分布空穴层光刻图案偏移问题的有效测量和光学邻近校正建模
相关领域
平版印刷术 图层（电子） 光学 光电子学 计算机科学 材料科学 物理 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1007/s11465-024-0795-1
DOI
10.1007/s11465-024-0795-1 doi
其它 期刊：Frontiers of Mechanical Engineering
作者：Yaobin Feng; Jiamin Liu; Zhiyang Song; Hao Jiang; Shiyuan Liu
出版日期：2024-07-19
求助人
momo 在 2024-09-03 14:48:55 发布自安徽，悬赏 10 积分
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