Three-dimensional Lithography via Digital Holography

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标题	Three-dimensional Lithography via Digital Holography 数字全息三维光刻技术相关领域光刻胶全息术数字全息术计算全息光学平版印刷术光刻材料科学数字微镜装置 X射线光刻二进制数计算光刻光电子学电子束光刻抵抗无光罩微影物理纳米技术图层（电子）算术数学
网址	https://doi.org/10.1364/fio.2012.ftu3a.4
DOI	10.1364/fio.2012.ftu3a.4 doi
其它	期刊：Frontiers in Optics 作者：Peng Wang; Rajesh Menon 出版日期：2012-10-14
求助人	奥观海在 2023-10-07 18:15:34 发布自广东，悬赏 10 积分
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