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The effect of dicarboxylic acid stabilizers on tungsten chemical mechanical planarization process
二羧酸类稳定剂对钨化学机械平坦化过程的影响
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期刊:Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 作者:Deng Pan; Gaoyuan Ren; Jingwei Zhang; Li Wang; Shudong Wang 出版日期:2024-09-01 |
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