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![]() 超高灵敏度耦合悬臂梁和双腔压电微机械超声换能器
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Yi Gong; Menglun Zhang; Miaojie Liu; Shaobo Gong; Quanning Li; et al 出版日期:2024-05-01 |
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